Beurteilungsvorrichtung und Beurteilungsverfahren

EP4589629 Art A3 25. Februar 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4589629
Aktenzeichen: EP25176844
Anmeldetag: 15. Mai 2025
Veröffentlichung: 25. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/244

Abstract

An assessment apparatus for assessing a sample, the assessment apparatus comprising:a sample holder for holding the sample;an electron-optical device for directing a charged particle beam on to the sample; anda detector module for detecting signal particles from the sample in response to the charged particle beam;wherein the electron-optical device comprises a quantum sensor (301, 302, 310, 320) configured to measure a physical field in the assessment apparatus.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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