Dimethylaluminiumchlorid von Hoher Leistung auf Halbleiterqualität
EP4590678
Art A1
30. Juli 2025
Anmelder: Praxair Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4590678
- Aktenzeichen
- EP23739064
- Anmeldetag
- 14. Juni 2023
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F5/06C23F1/12H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Praxair Technology, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Praxair Technology
US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.
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