System mit Fokussiertem Ionenstrahl

EP4593057 Art A2 30. Juli 2025

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4593057
Aktenzeichen: EP25151960
Anmeldetag: 15. Januar 2025
Veröffentlichung: 30. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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