Störungskompensation für Ladungsteilchenstrahlvorrichtungen
EP4595090
Art A1
6. August 2025
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH, Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4595090
- Aktenzeichen
- EP23777217
- Anmeldetag
- 25. September 2023
- Veröffentlichung
- 6. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/26H01J37/302H01J37/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Carl Zeiss Microscopy GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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