Reduzierung des Energieverbrauchs eines Gasentladungskammergebläses

EP4595172 Art A1 6. August 2025

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4595172
Aktenzeichen: EP23793652
Anmeldetag: 26. September 2023
Veröffentlichung: 6. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/134H01S3/036H01S3/00H01S3/10H01S3/104H01S3/13H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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