Schalten zwischen Vakuum- und Nahatmosphärendruckbetrieb in einem Materialanalysesystem

EP4599237 Art A1 13. August 2025

Anmelder: SPECS Surface Nano Analysis GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4599237
Aktenzeichen
EP23792880
Anmeldetag
4. Oktober 2023
Veröffentlichung
13. August 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/2273H01J37/18H01J49/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SPECS Surface Nano Analysis GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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