Elektronenoptisches Modul

EP4599473 Art A1 13. August 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4599473
Aktenzeichen
EP23769279
Anmeldetag
18. September 2023
Veröffentlichung
13. August 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/04H01J37/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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