Verfahren zur Abscheidung einer Sulfiddünnschicht aus einer Legierung der Übergangsmetalle der Gruppen 5 und 6 oder einer Ihrer Heterostrukturen

EP4600402 Art A1 13. August 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4600402
Aktenzeichen: EP24215619
Anmeldetag: 27. November 2024
Veröffentlichung: 13. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30C23C16/455C23C28/00C01G39/06C23C16/56H01L21/02C23C30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von