Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Topographie-Kontrasts Und/oder eines Materialkontrasts einer Probe

EP4600637 Art A1 13. August 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4600637
Aktenzeichen: EP25156589
Anmeldetag: 7. Februar 2025
Veröffentlichung: 13. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2206G03F1/68G03F1/72G03F1/74G03F1/86G06N20/00H01J37/28// G01B15/04H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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