Verbesserung der Lochrundheit durch Elektrooptische Strahlmodulation
Anmelder: II-VI Delaware, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4600720
- Aktenzeichen
- EP25157194
- Anmeldetag
- 11. Februar 2025
- Veröffentlichung
- 13. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02F1/03B23K26/064B23K26/073G02B27/28B23K26/0622
Abstract
This disclosure describes a system and method for providing an electro-optic beam modulation to improve circularity in F-Theta applications. The disclosed system uses an optical system, a Pockels cell and a polarization control device. The optical system focuses a laser beam, onto a workpiece, to generate a plurality of spots within an optical field. A fast axis of the Pockels cell is aligned orthogonally to corners of the optical field. The polarization control device reduces circularity inconsistencies in the plurality of spots by adjusting a polarization of the laser beam.
Anmelder
- Firma
- II-VI Delaware, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen, das optische Komponenten, Laser und Halbleiterbauteile für Telekommunikation, Industrie und Sensorik entwickelt, Teil von Coherent.
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Geht auf die 1992 gegründete Kanzlei Dr. Volker Vossius zurück, firmiert seit 2015 als Zwicker Schnappauf & Partner, mit Standorten in München und Berlin. Schwerpunkt auf Biotechnologie, Chemie, Medizintechnik und Pharmazie, Website in sechs Sprachen abrufbar.