System mit Geladenem Teilchenstrahl

EP4600990 Art A1 13. August 2025

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4600990
Aktenzeichen: EP25156363
Anmeldetag: 6. Februar 2025
Veröffentlichung: 13. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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