Abscheidungssystem und Verfahren zur Beschichtung einer Oberfläche eines Substrats

EP4602191 Art A1 20. August 2025

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4602191
Aktenzeichen: EP22844064
Anmeldetag: 22. Dezember 2022
Veröffentlichung: 20. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/28C23C16/44C23C16/455H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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