Verfahren zur Gewinnung von Informationen zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens für eine Gestapelte Halbleitervorrichtung und Detektionssystem mit Solch einem Verfahren
EP4602645
Art A1
20. August 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4602645
- Aktenzeichen
- EP23783726
- Anmeldetag
- 28. September 2023
- Veröffentlichung
- 20. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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