Gitter mit Subauflösung in der Euv-Bildgebung

EP4603908 Art A1 20. August 2025

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4603908
Aktenzeichen: EP24158459
Anmeldetag: 19. Februar 2024
Veröffentlichung: 20. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/36G03F1/70G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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