Membran für die Membran einer Lithographischen Vorrichtung

EP4606937 Art A3 4. März 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4606937
Aktenzeichen: EP25188092
Anmeldetag: 20. August 2020
Veröffentlichung: 4. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F7/20C01B32/158C01B32/168

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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