System und Verfahren zum Entwurf und zur Erzeugung einer Lithografiemaske
EP4607272
Art A1
27. August 2025
Anmelder: Lace Lithography AS 🇳🇴
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4607272
- Aktenzeichen
- EP24382178
- Anmeldetag
- 20. Februar 2024
- Veröffentlichung
- 27. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/36G03F1/50G03F7/00G03F7/20G03H1/00G03H5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lace Lithography AS
- Land
- 🇳🇴 Norwegen