Plasmaätzverfahren

EP4611022 Art A1 3. September 2025

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4611022
Aktenzeichen: EP24160637
Anmeldetag: 29. Februar 2024
Veröffentlichung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213H01L21/465C23F4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 KU Leuven Research & Development

Technologietransferstelle der belgischen Katholieke Universiteit Leuven, verwaltet geistiges Eigentum und überführt Forschungsergebnisse in Lizenzen und Ausgründungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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