Positionsmesssystem und Lithographische Vorrichtung

EP4616142 Art A1 17. September 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4616142
Aktenzeichen: EP23785816
Anmeldetag: 10. Oktober 2023
Veröffentlichung: 17. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/00G01D5/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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