Parallelabtastende Überlagerungsmetrologie mit Optischen Metaoberflächen
EP4616144
Art A1
17. September 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4616144
- Aktenzeichen
- EP24785721
- Anmeldetag
- 4. April 2024
- Veröffentlichung
- 17. September 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/25G01B11/26G01N21/17G02B27/28G02B27/09G02B1/00G02B21/06G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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