Oszillierende Sekundärstufe für Rahmenmodus-Overlaymetrologie
EP4616146
Art A1
17. September 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4616146
- Aktenzeichen
- EP24764341
- Anmeldetag
- 14. Februar 2024
- Veröffentlichung
- 17. September 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/27G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank