Erzeugung einer Dichten Defektwahrscheinlichkeitskarte zur Verwendung in einem Computergestützten Inspektionsmaschinenlernmodell

EP4616255 Art A1 17. September 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4616255
Aktenzeichen: EP23793300
Anmeldetag: 17. Oktober 2023
Veröffentlichung: 17. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956G06N20/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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