Vorrichtungen zur Überwachung der Position eines Substrats
EP4616446
Art A1
17. September 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4616446
- Aktenzeichen
- EP24757451
- Anmeldetag
- 8. Februar 2024
- Veröffentlichung
- 17. September 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/67H01L21/683G06T7/13G02B3/06G02B27/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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