Ladungsteilchenstrahlsystem und Austauschverfahren für Ladungsteilchenquelleneinheit
EP4618129
Art A3
7. Januar 2026
Anmelder: JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4618129
- Aktenzeichen
- EP25163389
- Anmeldetag
- 13. März 2025
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/067
Abstract
A charged particle beam system includes: a chamber (202); a charged particle source unit that has a charged particle source (210); a supporting member (700) that is provided on a side wall of the chamber and detachably supports the charged particle source unit inside the chamber; and a chamber door (204) that is provided on the side wall of the chamber for access to an interior of the chamber.
Anmelder
- Firma
- JEOL Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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