System und Verfahren zur Fraktionierten Destillation

EP4619124 Art A1 24. September 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4619124
Aktenzeichen
EP23892203
Anmeldetag
26. Oktober 2023
Veröffentlichung
24. September 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B01D3/02B01D3/16B01D3/14C07B63/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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