Simulation einer Elektromagnetischen Reaktion einer Halbleiterstruktur für Diffraktionsbasierte Optische Metrologie

EP4619823 Art A1 24. September 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4619823
Aktenzeichen: EP23805902
Anmeldetag: 8. November 2023
Veröffentlichung: 24. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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