Vorrichtung zur Sammlung Organischer Lösungsmittel, Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Sammlung Organischer Lösungsmittel

EP4620923 Art A1 24. September 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4620923
Aktenzeichen: EP25155273
Anmeldetag: 31. Januar 2025
Veröffentlichung: 24. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C02F1/44H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von