Verfahren zur Selektiven Ablagerung von Vorläufermaterialien und Zugehörige Vorrichtungen
EP4623124
Art A1
1. Oktober 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4623124
- Aktenzeichen
- EP23895210
- Anmeldetag
- 6. November 2023
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/04C23C16/08C23C16/42C23C16/455C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank