Elektrostatische Klemme

EP4625041 Art A1 1. Oktober 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4625041
Aktenzeichen: EP24167835
Anmeldetag: 29. März 2024
Veröffentlichung: 1. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H01L21/683H01L21/687H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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