Akustische Dämpfungsvorrichtung, Flüssigkeitstransportsystem, Temperaturkonditionierungssystem und Lithografische Vorrichtung

EP4625048 Art A1 1. Oktober 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4625048
Aktenzeichen: EP24167867
Anmeldetag: 29. März 2024
Veröffentlichung: 1. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20F16L55/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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