Heizanordnung für ein System mit Geladenem Teilchenstrahl

EP4625466 Art A3 31. Dezember 2025

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4625466
Aktenzeichen: EP25159333
Anmeldetag: 21. Februar 2025
Veröffentlichung: 31. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H05B3/14H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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