Automatische Korrektur der Energieabhängigen Defokussierung in Teilchenstrahlsystemen durch Konfigurationsänderung

EP4625468 Art A3 22. Oktober 2025

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4625468
Aktenzeichen: EP25167342
Anmeldetag: 31. März 2025
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/21H01J37/05

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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