Übertragungsmaschine, Substratverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Programm

EP4625480 Art A1 1. Oktober 2025

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4625480
Aktenzeichen: EP24196611
Anmeldetag: 27. August 2024
Veröffentlichung: 1. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/677H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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