Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4628625 Art A3 21. Januar 2026

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4628625
Aktenzeichen: EP25153090
Anmeldetag: 21. Januar 2025
Veröffentlichung: 21. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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