Gaszelle

EP4628981 Art A3 19. November 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4628981
Aktenzeichen: EP25173975
Anmeldetag: 2. Mai 2025
Veröffentlichung: 19. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/365

Abstract

A gas cell for a broadband light source, the gas cell comprising: a hollow core photonic crystal fiber, HC-PCF; a first clamping device coupled to a first end of the HC-PCF; and a first actuator coupled to the first clamping device, the first actuator controllable to move the first clamping device towards a first transparent window of the gas cell.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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