Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterelements

EP4629282 Art A1 8. Oktober 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4629282
Aktenzeichen
EP23897720
Anmeldetag
27. November 2023
Veröffentlichung
8. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/336H01L29/788H01L29/792H10B43/27
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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