Endpunktdetektion und -Verfolgung von Photoresistprozessen

EP4630881 Art A2 15. Oktober 2025

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4630881
Aktenzeichen: EP23901368
Anmeldetag: 1. Dezember 2023
Veröffentlichung: 15. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/36G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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