Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Photonischen Elements durch Gleichzeitige Verwendung Zweier Laser-Direktschreibstrahlen
EP4632452
Art A1
15. Oktober 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS Ltd. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4632452
- Aktenzeichen
- EP24170053
- Anmeldetag
- 12. April 2024
- Veröffentlichung
- 15. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B6/13// B23K26/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS Ltd. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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