Konditionierungseinheit für ein Substrat

EP4632486 Art A3 4. März 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4632486
Aktenzeichen: EP25199136
Anmeldetag: 29. August 2025
Veröffentlichung: 4. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H10P72/00H10P72/76H10P72/72H10P72/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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