Verringerung der Partikelkontamination eines Lasereingangsfensters in einem Gepulsten Laserabscheidungswerkzeug

EP4634431 Art A2 22. Oktober 2025

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4634431
Aktenzeichen: EP23904406
Anmeldetag: 11. Dezember 2023
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/28C23C14/50C23C14/56C23C14/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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