Verfahren zur Erkennung einer Abscheidungsschicht und Zugehörige Turbomolekularvakuumpumpe
EP4634534
Art A1
22. Oktober 2025
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4634534
- Aktenzeichen
- EP23808682
- Anmeldetag
- 8. November 2023
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Innovincia
Innovincia · Thonon-les-Bains