Kombination aus Raman- und Spektralellipsometrie mit mehreren Wellenlängen zur Messung eines Filmstapels
EP4634610
Art A1
22. Oktober 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4634610
- Aktenzeichen
- EP24823875
- Anmeldetag
- 9. Mai 2024
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06G01B11/16G01B15/02G01B15/06G01N21/21G01N21/65G01N21/95G01N23/20H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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