Verfahren zur Herstellung eines Spiegels einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

EP4634723 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4634723
Aktenzeichen: EP23702093
Anmeldetag: 24. Januar 2023
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G21K1/06G02B5/08C03B23/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von