Mehrstrahliges Ladungsträgerteilchenmikroskopdesign mit Detektionssystem für Schnelle Ladungskompensation
EP4634957
Art A1
22. Oktober 2025
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4634957
- Aktenzeichen
- EP23822233
- Anmeldetag
- 28. November 2023
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/12H01J37/141H01J37/145H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Tesch-Biedermann, Carmen
München, Deutschland
52
Patente gesamt
11
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte