Scrollvakuumpumpe
EP4636251
Art A2
22. Oktober 2025
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4636251
- Aktenzeichen
- EP25201241
- Anmeldetag
- 9. September 2025
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04C18/02F04C25/02F04C27/00F04C29/00
Abstract
Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem (11,13), das ein feststehendes Spiralbauteil (11) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (13) umfasst, und einer im Betrieb um eine Drehachse (15) rotierenden Antriebswelle (17) mit einem Exzenterabschnitt (19) zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils (13), sowie Verfahren zum Betreiben einer solchen Scrollvakuumpumpe.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum Technology AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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