Strahlungsfilter

EP4636444 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4636444
Aktenzeichen: EP24170403
Anmeldetag: 16. April 2024
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/20G02B5/22G02B5/28G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von