Anzeigeverfahren, Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, Programm, Verarbeitungsvorrichtung und Verwaltungsvorrichtung

EP4636815 Art A3 31. Dezember 2025

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4636815
Aktenzeichen
EP25166401
Anmeldetag
26. März 2025
Veröffentlichung
31. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kokusai Electric Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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