Grafikfolie, Halbleiterzwischenprodukt und Verfahren zum Ätzen eines Lochs

EP4636818 Art A3 21. Januar 2026

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4636818
Aktenzeichen: EP25198685
Anmeldetag: 2. April 2021
Veröffentlichung: 21. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/538H01L21/308H01L21/311H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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