In-Situ-Reinigung für Lithografische Vorrichtung

EP4639284 Art A1 29. Oktober 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4639284
Aktenzeichen: EP23822400
Anmeldetag: 15. Dezember 2023
Veröffentlichung: 29. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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