Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion mittels Geladener Teilchenstrahlen

EP4639604 Art A1 29. Oktober 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4639604
Aktenzeichen: EP23833038
Anmeldetag: 13. Dezember 2023
Veröffentlichung: 29. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/12H01J37/145H01J37/147H01J37/21H01J37/24H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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