Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zur Verarbeitung eines Substrats, Induktionsheizvorrichtung und Induktionsheizverfahren

EP4642158 Art A3 14. Januar 2026

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4642158
Aktenzeichen: EP25163202
Anmeldetag: 12. März 2025
Veröffentlichung: 14. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H05B6/06H05B6/10H05B6/44H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

538 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von